Wafer Front-End Module 300mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End Module 300mm
BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Vaste prijs zonder BTW
€ 59.750
Bouwjaar
2010
Toestand
Gebruikt
Locatie
Dresden 

foto's tonen
Toon kaart
Machinegegevens
- Machinetype:
- Wafer Front-End Module 300mm
- Producent:
- BROOKS ASYST
- Model:
- Spartan EFEM Sorter
- Bouwjaar:
- 2010
- Toestand:
- gebruikt
Prijs & locatie
Vaste prijs zonder BTW
€ 59.750
- Locatie:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Bellen
Details over het aanbod
- Advertentie-ID:
- A207-98077
- Referentienummer:
- LW43278
- Laatste aanpassing:
- op 19.12.2025
Omschrijving
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300 mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Conditie: Gebruikt
Technische gegevens:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Algemeen:
300-mm EFEM met 3 loadports, cleanroom-mini-omgeving en geïntegreerde wafer-transferrobot
Dit apparaat is een Equipment Front End Module (EFEM) uit de ASYST Spartan-serie, ontwikkeld voor de volledig geautomatiseerde handling van 300-mm siliciumwafers in de halfgeleiderproductie.
Het beschikt over drie loadports, een mini-omgeving met ULPA-luchtfilters, interne verlichting, uitgebreide veiligheidsbesturingen en alle benodigde interfaces voor systeemintegratie.
Daarnaast is er een volledig geïntegreerde wafer-transferrobot ingebouwd, die wafers uit de FOUP-/cassette-loadports oppakt, deze splitst en nauwkeurig overdraagt aan volgende procesmodules.
Ijdpex I Ax Sofx Ab Rjtr
Bouwjaar: 27-12-2010
Incl. cd met bedienings-, service- en installatiehandleidingen (9701-3060-01 Rev G)
De advertentie werd automatisch vertaald. Vertaalfouten zijn mogelijk.
Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Conditie: Gebruikt
Technische gegevens:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Algemeen:
300-mm EFEM met 3 loadports, cleanroom-mini-omgeving en geïntegreerde wafer-transferrobot
Dit apparaat is een Equipment Front End Module (EFEM) uit de ASYST Spartan-serie, ontwikkeld voor de volledig geautomatiseerde handling van 300-mm siliciumwafers in de halfgeleiderproductie.
Het beschikt over drie loadports, een mini-omgeving met ULPA-luchtfilters, interne verlichting, uitgebreide veiligheidsbesturingen en alle benodigde interfaces voor systeemintegratie.
Daarnaast is er een volledig geïntegreerde wafer-transferrobot ingebouwd, die wafers uit de FOUP-/cassette-loadports oppakt, deze splitst en nauwkeurig overdraagt aan volgende procesmodules.
Ijdpex I Ax Sofx Ab Rjtr
Bouwjaar: 27-12-2010
Incl. cd met bedienings-, service- en installatiehandleidingen (9701-3060-01 Rev G)
De advertentie werd automatisch vertaald. Vertaalfouten zijn mogelijk.
Aanbieder
Opmerking: Registreer gratis of log in, om alle informatie te bekijken.
Geregistreerd sinds: 2014
Telefoon & Fax
+49 351 8... weergeven
Uw advertentie is succesvol verwijderd
Er is een fout opgetreden



































